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硅单晶抛光片、硅片是指用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制单晶硅，经切割、研磨、抛光等工艺后成为硅抛光片(硅片)。 单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸及18英寸等规格。直径越大的圆片，所能刻制的集成电路越多，芯片的成本也就越低，但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。
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